范德堡法（Van der Pauw Method）是一種通過測(cè)量薄片材料電阻來推算其電阻率的經(jīng)典方法，適用于任意形狀的均勻薄片材料。其核心原理基于對(duì)稱性假設(shè)和邊界條件推導(dǎo)，通過消除接觸電阻和幾何形狀的影響，實(shí)現(xiàn)高精度電阻率測(cè)量。以下是其原理的詳細(xì)解析：一、基本假設(shè)與適用條件薄片結(jié)構(gòu)：材料厚度t遠(yuǎn)小于平面尺寸（通常t<1mm），電流在......

范德堡法（Van der Pauw Method）因其對(duì)樣品形狀無特殊要求、操作簡便且能消除接觸電阻影響，被廣泛應(yīng)用于各類薄片材料的電阻率測(cè)試。以下從材料研發(fā)、器件制造、基礎(chǔ)研究及工業(yè)檢測(cè)等角度，系統(tǒng)闡述其具體應(yīng)用場(chǎng)景。一、半導(dǎo)體材料與器件領(lǐng)域1. 半導(dǎo)體晶圓與薄膜電阻率表征應(yīng)用場(chǎng)景：硅（Si）、砷化鎵（GaAs）等晶圓：測(cè)量摻雜濃度與電......

范德堡法（Van der Pauw Method）適用于任意形狀的薄片材料，尤其適用于均勻、各向同性且厚度遠(yuǎn)小于平面尺寸的樣品。以下從材料類型、具體案例及適用條件等方面系統(tǒng)說明可用于范德堡法測(cè)試的材料。一、適用材料類型1. 金屬材料典型材料：銅（Cu）、鋁（Al）、金（Au）、銀（Ag）、鉑（Pt）等高導(dǎo)電金屬箔。鎳（Ni）、鉻（Cr）、......